“我们很高兴华灿作为市场的主要参与者，选择了我们的AIXG5+C和AIXG4-TM系统来进一步开发MicroLED生产工艺。我们期待支持加速推出用于显示器的MicroLED。MicroLED技术正在颠覆现有的显示生态系统，采用仅在半导体行业中才能看到的方法和方法。我们的PlanetaryTechnology平台解决方案完美地满足了这些严格的外延要求，”AixtronSE首席执行官兼总裁FelixGrawert说。
Aixtron的行星系统具有在外延过程中对薄膜表面温度进行晶片级控制的功能。这保证了对掺入多量子阱(MQW)中的铟进行非常准确的控制，这将最终确定所有生产的晶圆之间的波长一致性。盒到盒自动化与原位清洗相结合，确保在处理或外延处理过程中没有颗粒污染薄膜。
